工业超纯水制备系统

    针对大规模集成电路、精密电子工业、科研等需要的超纯水制备系统，采用全膜法处理设计，根据使用点水质的不同要求，采用“盘滤＋超滤 + 反渗透（Ⅰ）+反渗透（Ⅱ）+CEDI+抛光混床” 的超纯水制备工艺流程。

100m³/h半导体工业用超纯水系统